fuji nxt贴片机汽车鼓风机的拆装与检修包装盒印刷

作者:新闻动态

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  Plasma就是等离子体(台湾一般称为电浆), 由气体电离后产生的正负带电离子以及分子, 原子和原子团组成. 只有强电场作用下雪崩电离发生时, Plasma才会产生.

  Plasma产生激活态的粒子以及离子. 激活态粒子(自由基)在干法刻蚀中主要用于提高化学反应速率, 而离子用于各向异性腐蚀(Anisotropic etch).

  在固定Power输入的气体中, 电离和复合处于平衡状态. 在正负离子复合或电子从高能态向低能态跃迁的过程中发射光子. 这些光子可用于终点控制的检测。包装盒印刷全过程汽车鼓风机的拆装与检修汽车鼓风机的拆装与检修fuji nxt贴片机fuji nxt贴片机

  半导体工艺Plasma一般都是部分电离, 常规0.01%~10% 的原子/分子电离.

  射频功率通过隔直电容加到圆片背面,这样隔离直流而能通过射频,使圆片和基座充电为负偏压状态(平均).

  半导体圆片不一定是电导体(因为表面可能淀积一层SiO2或SiN膜), 直流偏压不能工作, 因为Plasma很快补偿了绝缘体上的偏压.

  非对称的腔体中,圆片面积腔体面积, 所以较高的鞘层/暗区(Sheath/Dark Space)电压出现在Plasma到圆片之间。

  电容耦合: RF功率通过RF电场直接传导到Plasma,涉及到的电极也直接暴露在Plasma中(但是一般有Wafer在基座/电极上).

  电感/变压器耦合: RF功率通过RF磁场传导到Plasma, 该磁场诱导产生起电离作用的电场.

  电容耦合对产生电离作用不是很有效,因为它的很大一部分能量用于向电极表面运动的离子加速.

  电感耦合对Plasma的产生很有效,因为它的能量几乎全部用于离化. 但是电感耦合点燃Plasma不是很有效.

  0 等离子刻蚀工艺原理介绍-课件(PPT精..

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关键词: 蚀刻机原理